Toepassing meetplatform Accuro

De Accuro kan worden toegepast voor het meten van bijvoorbeeld:

  • Lenzen tijdens het productieproces
  • Opgedampte lagen silicium, glas, kunststof (afhankelijk van transparantie voor de toegepaste golflengte licht)

Daarnaast kan dit geavanceerde precisie meetinstrument ingezet worden voor het meten van:

  • Vormen en afmetingen van 3D producten
  • Vormen van 2d afbeeldingen
  • (Laag)dikte van niet transparante materialen (twee sensoren aan weerszijden)
  • (Laag)dikte van transparant materiaal. Eén sensor kan door het materiaal heen de dikte meten. Dit maakt de Accuro ook geschikt voor het meten van transparante- of semi-transparante lagen nadat deze op een ondergrond zijn aangebracht.

Techniek meetplatform Accuro

De Accuro is het nieuwste multi-sensor contactloos meetplatform van Irmato. Dit precisie meetinstrument is configureerbaar voor in-line meetwerk of engineering meetwerk. Het meetplatform bestaat uit een schaalbare x-y stage (maat en nauwkeurigheid op specificatie) met één of twee (witlicht) sensoren die onder en boven het object op “z” sledes gesitueerd zijn. Daarnaast is het mogelijk om camera’s, lijnsensoren en/of vlaksensoren toe te voegen.
De resolutie van de witlichtsensoren ligt rond 10nm. Hierdoor kan dit precisie meetinstrument een meetnauwkeurigheid behalen tot 100nm. De met de Accuro te behalen nauwkeurigheden zijn volledig afhankelijk van de keuzes van sensoren en sledes. Het tot nu toe hoogst behaalde resultaat met dit meetplatform is 25nm meetnauwkeurigheid in x en y, en 100nm in z richting (hoogte). De verticale resolutie van de witlichtsensoren ligt rond 10nm, meetnauwkeurigheid is mogelijk tot 10nm. Met de bij de Accuro geleverde software en gebruiksinterface is het mogelijk om met het camerabeeld een te meten gebied te selecteren, waarna de gebruiker kan kiezen uit verschillende voorgeprogrammeerde of eigen meetstrategieën zoals: meten in cirkels vanuit het midden, meten in lijnen, een doorsnede maken etc. Het aantal beeldpunten en lijnen zijn te kiezen, afhankelijk van sensoren en x-y sledes.

Specificaties meetplatform Accuro

  • Meetvolume > 100 x 100 x 50 mm
  • Optisch contactloos geometrisch meten
  • 3D directe dikte/vorm metingen
  • 2D snelle camerametingen
  • Hoekmetingen tot +/-45
  • E2: <0,5 µ (snelheid)
  • E3: > 1 µ (snelheid)
  • Robuuste en gebruiksvriendelijke software en platform standaardisatie
  • Compatible met ISO VDI/VDE 2617 deel 6.2 – ISO 10360 protocol
Neem contact op

Heeft u vragen of wilt u meer informatie? Neem dan contact op.

Niet leesbaar? Verander tekst